公司介绍
深圳市洛瓷科技有限公司座落于深圳市宝安区碧头第三工业区嘉品工业园，本公司深耕特种陶瓷与电子专用材料领域，依托专业的粉体制备技术，推出适配半导体刻蚀设备陶瓷配件的高纯氧化钇陶瓷造粒粉产品，凭借精准的性能调控与稳定的产品品质，成为氧化钇陶瓷粉体领域的优质供应商。
主推产品
核心特征产品杂质含量低、纯度高球形度好、适用于干压、等静压成型烧成密度高行业现状在半导体晶圆尺寸不断增大以及特征尺寸不断缩小的发展进程中，晶圆的污染问题越来越突出。而刻蚀机腔室材料作为晶圆的主要污染源之一，其耐等离子刻蚀性日益受到人们的关注。在各类适配的陶瓷材料中，氧化钇(Y2O)凭借突出的综合性能脱颖而出。氧化钇属于立方晶系，熔点高达2430°C，兼具良好的电绝缘性与透光性。对比传统工艺制备的Al2O。陶瓷已经无法承受卤素类等离子体的刻蚀，难以满足大批量硅片生产的需求，而Y2O3又具有极好的化学稳定性和难浸蚀特性，所以Y2O3陶瓷作为半导体生产中的耐等离子体刻蚀材料备受关注。
氧化钇陶瓷造粒粉(Y203)产品特性白色喷雾干燥造粒粉(可用于直接压制)产品应用高纯氧化陶瓷(主要用于半导体刻蚀设备配件)主要性能
氧化钇陶瓷造粒粉
面议氧化钇陶瓷造粒粉(Y203)
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一、半导体刻蚀升级，耐蚀陶瓷材料迎严苛要求等离子刻蚀技术是超大规模集成电路制备工艺中不可或缺加工技术。在半导体晶圆尺寸不断增大以及特征尺寸不断缩小的发展进程中，晶圆的污染问题越来越突出。而刻蚀机腔室材料作为晶圆的主要污染源之一，其耐等离子刻蚀性日益受到人们的关注。陶瓷材料因具备优异的耐腐蚀性能，在半导体工业中，多种陶瓷材料已经成为晶圆加工设备的耐等离子体刻蚀材料。其中刻蚀机腔体内耐等离子刻蚀陶瓷材
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